備案項(xiàng)目編號(hào) | 2405-440118*** |
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項(xiàng)目名稱 | 晶圓級(jí)微光機(jī)電器件研發(fā)與中試平臺(tái)新建項(xiàng)目 |
項(xiàng)目所在地 | 廣州市增城區(qū)寧西街道***【付費(fèi)會(huì)員可以查看】 |
項(xiàng)目總投資 | 30000萬元 |
項(xiàng)目規(guī)模及內(nèi)容 | 項(xiàng)目***擬建設(shè)總面積3000平方米的微光機(jī)電器件研發(fā)驗(yàn)證與中試熟化平臺(tái),其中超凈實(shí)驗(yàn)室2700平方米,超算機(jī)房300平方米。平臺(tái)將購置電子束光刻機(jī)、高速激光直寫設(shè)備、高分辨接觸式光刻機(jī)、離子束鍍膜與刻蝕、ICP刻蝕等泛半導(dǎo)體制造設(shè)備及搭建完整的標(biāo)準(zhǔn)軟件庫及平臺(tái)管理系統(tǒng)。通過四年建設(shè),形成具有定制開發(fā)、小批量交付能力的晶圓級(jí)微光機(jī)電器件研發(fā)驗(yàn)證與中試熟化平臺(tái),具備快速定制化的先進(jìn)制造加工能力,有力支撐廣東泛半導(dǎo)體相關(guān)的新興產(chǎn)業(yè)及未來產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。 |
建設(shè)單位 | ***研究院***【付費(fèi)會(huì)員可以查看】 |
備案機(jī)關(guān) | 廣州市增城區(qū)發(fā)展和改革局 |
備案申報(bào)日期 | 2024-05-28 |
復(fù)核通過日期 | 2024-05-30 |
項(xiàng)目起止年限 | 2024-11-01至2027-12-01 |
項(xiàng)目當(dāng)前狀態(tài) | 辦結(jié)(通過) |
建設(shè)單位(業(yè)主單位)簡(jiǎn)介:
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